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當前位置:首頁技術文章帶位置編碼器的納米機械手-MM3E

帶位置編碼器的納米機械手-MM3E

更新時間:2024-10-30點擊次數:760

德國Kleindiek公司的MM3E 經典,廣泛使用的 MM3A-EM 微納米操縱儀韋基礎,具有與 MM3A 相同的緊湊性、精確性和穩定性,并結合了閉環位置反饋功能closed-loop positional feedback。這一改進為提高系統的易用性提供了手段(例如,通過定義停止位置parking position和工作位置working position,一鍵點擊,使機械手前端的探針到達目標位置,大大提高了工作效率)。

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MM3E 與市場上幾乎所有的 SEM FIB/SEM 兼容。它配備了一個直觀的拖放式drag&drop-style控制軟件,可方便地在 SEM FIB/SEM 內對探針進行三維定位。

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軟件可執行坐標變換,使 MM3E 笛卡爾坐標系運動,其重現性僅為幾微米。通過選配編碼軸向旋轉單元,試樣可以在靠近試樣的位置進行同心旋轉compucentrically 

應用領域:

TEM 原位提取(In-situ lift-out

納米探測(Electrical probing

納米操縱(Nanomanipulation

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Compucentric rotation within a field of view of 30 µm


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